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HPM18V Alta precisão Capacitância Medidor de vácuo com protetor de diafragma Pressuretransmitter absoluto

HPM18V Alta precisão Capacitância Medidor de vácuo com protetor de diafragma Pressuretransmitter absoluto

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O HPM18V é um medidor de vácuo com protetor de diafragma, também chamado de medidor de filme capacitivo (CDG). Este produto usa um sensor capacitivo de cerâmica como um elemento sensível e usa uma varredura de vácuo para medir diretamente a pressão. Seus sinais de saída analógica como 0-5 ou 0-10VDC são proporcionais à pressão medida e não são afetados pelo tipo e composição do gás do processo. A cerâmica tem as características de alta elasticidade, resistência ao desgaste, resistência à corrosão e dissipação de calor rápida, o que faz com que o medidor de vácuo tenha muito boa estabilidade térmica e desvio de baixa temperatura.

Descrição

Aplicativo

Características

Parâmetros

O HPM18V é um medidor de vácuo com protetor de diafragma, também chamado de medidor de filme capacitivo (CDG). Este produto usa um sensor capacitivo de cerâmica como um elemento sensível e usa uma varredura de vácuo para medir diretamente a pressão. Seus sinais de saída analógica como 0-5 ou 0-10VDC são proporcionais à pressão medida e não são afetados pelo tipo e composição do gás do processo. A cerâmica tem as características de alta elasticidade, resistência ao desgaste, resistência à corrosão e dissipação de calor rápida, o que faz com que o medidor de vácuo tenha muito boa estabilidade térmica e desvio de baixa temperatura.

Aplicativo

Aplicação a vácuo
Laboratório e pesquisa e desenvolvimento
Indústria de semicondutores
Embalagem a vácuo
Equipamento de processo de gravação de plasma

Características

Princípio do filme do capacitor
Alta precisão e boa estabilidade
Tem boa capacidade anti-sobrecarga
A detecção não é afetada pelo tipo de gás e composição
Resposta rápida e pequena histerese
Medição de pressão direta, o sinal de saída analógico é proporcional à pressão medida

Apoie várias interfaces de pressão KF, CF, VCR, etc. na indústria de vácuo

Parâmetros técnicos

Faixa de medição
Absoluto （KPA)	Pressão nominal	0.2	0.5	1	2	5	10	20	100
Absoluto （KPA)	Sobrecarga	200	200	200	200	400	400	600	1000
Absoluto （Torr）	Pressão nominal	2	5	10	20	50	100	200	1000
Absoluto （Torr）	Sobrecarga	2000	2000	2000	2000	4000	4000	6000	10000
Absoluto （MBAR）	Pressão nominal	2	5	10	20	50	100	200	1000
Absoluto （MBAR）	Sobrecarga	2000	2000	2000	2000	4000	4000	6000	10000
Nota: Para outros intervalos de medição, entre em contato conosco.

Meio de medição	Vários gases compatíveis com materiais de contato
Faixa de pressão	0 ～ 2TORR… 1000TORR
Precisão	± 0,1%Fs, ± 0,25%Fs, ± 0,5%Fs (sujeito à faixa de medição)
Temperatura de trabalho	-40 ～ 85 ℃
Tensão de fornecimento	10 ~ 30VDC 8.5 ~ 30 VCC 12 ~ 30VDC 10 ~ 30VDC (sujeito a saída)
Sinal de saída	4 ~ 20MADC, tensão, RS485