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Medidor de vácuo de capacitância de alta precisão HPM18V com protetor de diafragma e transmissor de pressão absoluta

Medidor de vácuo de capacitância de alta precisão HPM18V com protetor de diafragma e transmissor de pressão absoluta

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HPM18V é um medidor de vácuo com protetor de diafragma, também chamado de medidor de filme capacitivo (CDG). Este produto utiliza um sensor capacitivo cerâmico como elemento sensível e utiliza uma conexão a vácuo para medir diretamente a pressão. Seus sinais de saída analógica, como 0-5 ou 0-10VDC, são proporcionais à pressão medida e não são afetados pelo tipo e composição do gás do processo. A cerâmica tem características de alta elasticidade, resistência ao desgaste, resistência à corrosão e rápida dissipação de calor, o que faz com que o medidor de vácuo tenha estabilidade térmica muito boa e desvio de temperatura extremamente baixo.

Descrição do produto

Aplicativo

Características

Parâmetros Técnicos

HPM18V é um medidor de vácuo com protetor de diafragma, também chamado de medidor de filme capacitivo (CDG). Este produto utiliza um sensor capacitivo cerâmico como elemento sensível e utiliza uma conexão a vácuo para medir diretamente a pressão. Seus sinais de saída analógica, como 0-5 ou 0-10VDC, são proporcionais à pressão medida e não são afetados pelo tipo e composição do gás do processo. A cerâmica tem características de alta elasticidade, resistência ao desgaste, resistência à corrosão e rápida dissipação de calor, o que faz com que o medidor de vácuo tenha estabilidade térmica muito boa e desvio de temperatura extremamente baixo.

Aplicativo

Aplicação de vácuo
Laboratório e pesquisa e desenvolvimento
Indústria de semicondutores
Embalagem a vácuo
Equipamento de processo de gravação a plasma

Características

Princípio do filme capacitor
Alta precisão e boa estabilidade
Possui excelente capacidade anti-sobrecarga
A detecção não é afetada pelo tipo e composição do gás
Resposta rápida e pequena histerese
Medição direta de pressão, o sinal de saída analógico é proporcional à pressão medida

Suporta várias interfaces de pressão KF, CF, VCR, etc. na indústria de vácuo

Parâmetros Técnicos

Faixa de medição
Absoluto（kPa）	Pressão nominal	0.2	0.5	1	2	5	10	20	100
Absoluto（kPa）	Sobrecarga	200	200	200	200	400	400	600	1000
Absoluto (Torr)	Pressão nominal	2	5	10	20	50	100	200	1000
Absoluto (Torr)	Sobrecarga	2000	2000	2000	2000	4000	4000	6000	10000
Absoluto（mbar）	Pressão nominal	2	5	10	20	50	100	200	1000
Absoluto（mbar）	Sobrecarga	2000	2000	2000	2000	4000	4000	6000	10000
Nota: Para outras faixas de medição, entre em contato conosco.

Meio de medição	Vários gases compatíveis com materiais de contato
Faixa de pressão	0~2Torr…1000Torr
Precisão	±0,1%FS,±0,25%FS,±0,5%FS (sujeito à faixa de medição)
Temperatura de trabalho	-40~85°C
Tensão de alimentação	10~30VCC 8,5~30 VCC 12~30VCC 10~30VCC (sujeito a saída)
Sinal de saída	4 ~ 20mADC, tensão, RS485