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HPM18V Capacitância Vacitância Medidor KF16 Conexão, Transmissor de pressão absoluta

HPM18V Capacitância Vacitância Medidor KF16 Conexão, Transmissor de pressão absoluta

O medidor de diafragma de capacitância HPM18V é um medidor de vácuo de alta precisão para medição de vácuo médio e baixo, oferecendo faixas de 0,2 a 100 kPa, precisão de até ±0,1% FS e saída de 4–20 mA, 0–10 VDC ou RS485. Apresentando um sensor capacitivo de cerâmica, ele fornece medição direta de pressão não afetada pela composição do gás, com excelente estabilidade, resposta rápida e desempenho confiável em aplicações de semicondutores, laboratório, embalagem a vácuo e processos de plasma.

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HPM18V Capacitance Vacuum Gauge - V26.1.2.pdf

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Medidor de diafragma de capacitância HPM18V

Item	Especificação
Nome do produto	Medidor de diafragma de capacitância HPM18V
Tipo de produto	Medidor de filme capacitivo (CDG) / Medidor de vácuo
Princípio de Medição	Princípio do filme do capacitor
Elemento Sensor	Sensor capacitivo cerâmico
Faixa de medição	0,2 / 0,5 / 1/2/5/10/20/100 kPa
	2/5/10/20/50/100/200/1000 Torr
	2/5/10/20/50/100/200/1000mbar
Sinal de Saída/Fornecimento	4~20mA / Vs=10~30 VCC
	0~5VCC / Vs=8,5~30 VCC
	0~10VCC / Vs=12~30 VCC
	RS485 / Vs=10~30 VCC
Precisão	±0,1%FS (20kPa, 100kPa)
	±0,25%FS (5kPa, 10kPa)
	±0,5%FS (500Pa, 1kPa, 2kPa)
	±1,5%FS (200Pa)
Estabilidade a longo prazo	±0,50%FS/ano para ≤1kPa
Estabilidade a longo prazo	±0,25%FS/ano para >1kPa
Temperatura operacional	-40~125°C
	+125°C máx. 120 minutos
Temperatura ambiente	-30~85°C
Temperatura de armazenamento	-30~85°C

Visão geral do medidor de diafragma de capacitância HPM18V

HPM18V é um medidor de vácuo capacitivo, também chamado de medidor de vácuo capacitivo de filme fino (CDG). Este produto utiliza um sensor capacitivo cerâmico como elemento sensível e mede diretamente a pressão usando uma conexão de vácuo. Seus sinais de saída analógica, como 0-5 ou 0-10 VCC, são proporcionais à pressão medida e não são afetados pelo tipo e composição do gás do processo. A cerâmica tem características de alta elasticidade, resistência ao desgaste, resistência à corrosão e rápida dissipação de calor, o que faz com que o medidor de vácuo tenha estabilidade térmica muito boa e desvio de baixa temperatura.

O medidor de vácuo capacitivo HPM18V possui alta precisão de medição, excelente resistência à sobrepressão e excelente estabilidade a longo prazo. Seu sensor de cerâmica resistente à corrosão é compensado por temperatura, possui uma ampla faixa de temperatura operacional e possui boa estabilidade de ponto zero. O medidor de vácuo é compacto em tamanho, fácil de usar e confiável, e é adequado para medição precisa de médio e baixo vácuo com composição de gás complexa.

Aplicativo

Aplicação a vácuo
Laboratório e pesquisa e desenvolvimento
Indústria de semicondutores
Embalagem a vácuo
Equipamento de processo de gravação de plasma

Características

Princípio do filme do capacitor
Alta precisão e boa estabilidade
Possui excelente capacidade anti-sobrecarga
A detecção não é afetada pelo tipo de gás e composição
Resposta rápida e pequena histerese
Medição de pressão direta, o sinal de saída analógico é proporcional à pressão medida
Apoie várias interfaces de pressão KF, CF, VCR, etc. na indústria de vácuo

Princípio de Medição

O vacuômetro capacitivo, também chamado de vacuômetro de filme capacitivo, funciona com base no princípio da mudança de capacitância e consiste em uma peça de detecção e um circuito de conversão. ~!phoenix_varIMG53!~

A imagem acima é um diagrama esquemático da parte de detecção. A parte de detecção possui duas câmaras, a câmara de vácuo e a câmara de detecção. A câmara de vácuo é uma estrutura totalmente vedada. Depois de passar pela detecção de vazamento pelo detector de vazamento do espectrômetro de massa de hélio, ele fica exausto por um longo tempo e, finalmente, o tubo de escape é selado para manter um alto vácuo a longo prazo. A placa fixa do eletrodo está na câmara de vácuo e é conduzida para fora da câmara de vácuo pelo fio condutor do eletrodo. O diafragma de detecção é colocado entre a câmara de alto vácuo e a câmara de detecção do sistema de baixo vácuo a ser testado. O diafragma de detecção é uma placa móvel, que forma um capacitor plano com a placa fixa. A pressão de baixo vácuo medida entra na câmara de detecção através do orifício de detecção, e o diafragma de detecção desvia, alterando sua distância da placa fixa, e o valor da capacitância também muda de acordo. Diferentes pressões de baixo vácuo determinam diferentes valores de capacitância.

O sinal de capacitância formado pela parte de detecção é enviado para a parte de conversão do circuito. A parte de conversão do circuito converte o sinal de capacitância por meio de transformação, classificação, amplificação e conversão e, finalmente, emite um sinal de tensão ou corrente padrão. Este sinal elétrico padrão é derivado do sinal capacitivo e é proporcional à pressão de vácuo.

Rótulos de diagrama esquemático

Obtém
Câmara de vácuo
Saída de cabo de placa
Tubo de respiro
Vedação após exaustão
Placa fixa
Diafragma de detecção
Câmara de detecção
Buraco de detecção

Material da Estrutura

Encomendar	materiais	de peças com código
S4	Interface de pressão	SS304
S6	Interface de pressão	SS316L
Educação Física	Interface de pressão	ESPIAR
M6	Sensor	Al2O3 cerâmico 99,9%
Futebol	Anel de vedação	Borracha FKM Fluoro
Observação	Anel de vedação	Nitrilo NBR

Desenhos de Estrutura

Tubo diâmetro externo 1/2'
Tubo externo de 1/4'
DN 16 ISO-KF
8 videocassete, rosca fêmea
4 videocassetes, rosca macho e 8 videocassetes, rosca macho
4 videocassete, rosca fêmea
M20X1.5

Conexão elétrica

Hirschmann/DIN43650 / M12×1-4P / Saída de cabo / M12x1-4P com cabo

Saída de corrente de dois fios 4 ~ 20mA

	Fonte de alimentação+ (+V)	Fonte de alimentação- (0V/+OUT)	Vazia
Hirschmann/DIN43650	1	2	3, 4
Tomada de cabo	Red	Preto	-
M12×1	1	2	3,4
M12×1 (com cabo)	Marrom	Preto	Azul, branco

Saída de tensão de três fios 0~5V/10V

	Fonte de alimentação+(+V) Saída	de terra comum (GND)	(+OUT)	Vazia
Hirschmann/DIN43650	1	2	3	4
Tomada de cabo	Red	Preto	Azul	-
M12×1	1	2	3	4
M12×1 (com cabo)	Marrom	Preto	Azul	Branco

Modbus-RTU/RS485 de quatro fios

	Fonte de alimentação+(+V)	Fonte de alimentação-(-V)	RS485A	RS485B
Hirschmann/DIN43650	1	2	3	4
Tomada de cabo	Red	Preto	Amarelo	Verde
M12×1,4P	1	2	3	4
M12×1 (com cabo)	Marrom	Preto	Azul	Branco

Descrição

Parâmetros técnicos