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HPM18V Capacitância Vacitância Medidor de vácuo Pressuretransmissor

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Visão geral

O HPM18V é um medidor de vácuo com protetor de diafragma, também chamado de medidor de filme capacitivo (CDG). Este produto usa um sensor capacitivo de cerâmica como um elemento sensível e usa uma varredura de vácuo para medir diretamente a pressão. Seus sinais de saída analógica como 0-5 ou 0-10VDC são proporcionais à pressão medida e não são afetados pelo tipo e composição do gás do processo. A cerâmica tem as características de alta elasticidade, resistência ao desgaste, resistência à corrosão e dissipação de calor rápida, o que faz com que o medidor de vácuo tenha muito boa estabilidade térmica e   desvio de baixa temperatura.

Aplicativo

  • Aplicação a vácuo

  • Laboratório e pesquisa e desenvolvimento

  • Indústria de semicondutores

  • Embalagem a vácuo

  • Equipamento de processo de gravação de plasma

Características

  • Princípio do filme do capacitor

  • Alta precisão e boa estabilidade

  • Tem boa capacidade anti-sobrecarga

  • A detecção não é afetada pelo tipo de gás e composição

  • Resposta rápida e pequena histerese

  • Medição de pressão direta, o sinal de saída analógico é proporcional à pressão medida

  • Apoie várias interfaces de pressão KF, CF, VCR, etc. na indústria de vácuo



Faixa de pressão

0 ~ 2TORR… 1000TORR

Meio de medição

Vários gases compatíveis com materiais de contato

Faixa de pressão

0 ~ 2TORR… 1000TORR

Precisão

± 0,1%Fs, ± 0,25%Fs, ± 0,5%Fs (sujeito à faixa de medição)

Temperatura de trabalho

-40 ~ 85 ℃

Tensão de fornecimento

10 ~ 30VDC; 8.5 ~ 30 VCC; 12 ~ 30VDC; 10 ~ 30VDC (sujeito a saída)

Sinal de saída

4 ~ 20MADC, tensão, RS485



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