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Transmissor de pressão de vácuo absoluto de capacitância HPM18LV 0-10V KF, CF e conector de videocassete

Transmissor de pressão de vácuo absoluto de capacitância HPM18LV 0-10V KF, CF e conector de videocassete

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Visão geral

HPM18LV é um medidor de vácuo capacitivo, também conhecido como medidor de vácuo capacitivo de película fina (CDG). Este produto usa um sensor capacitivo de cerâmica como elemento sensor e mede diretamente a pressão por meio de uma conexão de vácuo. Seu sinal de saída analógico de 0-10 VCC é proporcional à pressão medida e não é afetado pelo tipo e composição do gás do processo. Os materiais cerâmicos possuem alta elasticidade, resistência ao desgaste, resistência à corrosão e rápida dissipação de calor, proporcionando a este medidor de vácuo excelente estabilidade térmica e desvio de baixa temperatura.

Aplicativo

Aplicação a vácuo
Laboratório e pesquisa e desenvolvimento+
Indústria de semicondutores
Embalagem a vácuo
Equipamento de processo de gravação de plasma

Características

Princípio do filme fino capacitivo
Alta precisão e boa estabilidade
Excelente resistência à sobrecarga
A detecção não é afetada pelo tipo e composição do gás
Resposta rápida e baixa histerese
Medição direta de pressão: o sinal de saída analógico é proporcional à pressão medida
Suporta várias interfaces de pressão na indústria de vácuo, como KF, CF e VCR

Descrição

Parâmetros técnicos

Visão geral

HPM18LV é um medidor de vácuo capacitivo, também conhecido como medidor de vácuo capacitivo de película fina (CDG). Este produto usa um sensor capacitivo de cerâmica como elemento sensor e mede diretamente a pressão por meio de uma conexão de vácuo. Seu sinal de saída analógico de 0-10 VCC é proporcional à pressão medida e não é afetado pelo tipo e composição do gás do processo. Os materiais cerâmicos possuem alta elasticidade, resistência ao desgaste, resistência à corrosão e rápida dissipação de calor, proporcionando a este medidor de vácuo excelente estabilidade térmica e desvio de baixa temperatura.

Aplicativo

Aplicação a vácuo
Laboratório e pesquisa e desenvolvimento+
Indústria de semicondutores
Embalagem a vácuo
Equipamento de processo de gravação de plasma

Características

Princípio do filme fino capacitivo
Alta precisão e boa estabilidade
Excelente resistência à sobrecarga
A detecção não é afetada pelo tipo e composição do gás
Resposta rápida e baixa histerese
Medição direta de pressão: o sinal de saída analógico é proporcional à pressão medida
Suporta várias interfaces de pressão na indústria de vácuo, como KF, CF e VCR

Faixa de medição
Absoluto (kPa)	Pressão nominal	0.2	0.5	1	2	5	10	20	100
	Sobrecarga	350	350	350	350	400	400	600	1000
Absoluto (Torr)	Pressão nominal	2	5	10	20	50	100	200	1000
	Sobrecarga	2600	2600	2600	2600	3000	3000	4500	7500
Absoluto (mbar)	Pressão nominal	2	5	10	20	50	100	200	1000
	Sobrecarga	3500	3500	3500	3500	4000	4000	6000	10000
Nota: Para outros intervalos de medição, entre em contato conosco.
Meio de medição
Tipo		Vários gases compatíveis com materiais de contato
Sinal de saída/fonte de alimentação
Padrão		0 ~ 10VDC /vs = 12 ~ 30 V _DC
Desempenho
Precisão		±0,1%FS (20kPa,100kPa) ±0,25%FS (5kPa,10kPa) ±0,5%FS (500Pa,1kPa,2KPa) ±1,5%FS (200Pa)
Estabilidade a longo prazo		±0,50%FS/ano, ≤1kPa ±0,25%FS/ano, >1kPa
*A precisão está em conformidade com a IEC 60770 (não linearidade, histerese, repetibilidade)
Condições ambientais
Faixa de temperatura		Temperatura de trabalho: -40~125°C (máx. 120min em +125°C) Temperatura ambiente: -30 ~ 85 ℃ Temperatura de armazenamento: -30 ~ 85 ℃
Grau de proteção		IP40
Deriva de temperatura
Temperatura de compensação		-20 ~ 80 ℃
Desvio de temperatura do ponto zero		±1,5%FS (dentro da temperatura de compensação)
Deriva de temperatura da escala completa		±1,5%FS (dentro da temperatura de compensação)
Proteção elétrica
Proteção de curto -circuito		Apoiar
Proteção de polaridade reversa		Sem danos, o circuito não funciona
Estabilidade mecânica
Vibração		20g (20 ~ 5000Hz)
Resistência ao impacto		50g(11ms)
Isolamento
Resistência ao isolamento		>200MΩ @500VCC
Força dielétrica		<2mA 500 VCA 1min