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O HPM10V é um medidor de vácuo piezoresistivo. Ele usa um sensor piezoresistivo de silício como elemento sensível e mede diretamente a pressão usando uma conexão de vácuo. Seus sinais de saída analógica, como 0-5 ou 0-10 VCC, são proporcionais à pressão medida e não são afetados pelo tipo e composição do gás do processo. O chip de silício difuso dentro do sensor é encapsulado por um diafragma e cavidade de aço inoxidável 316L. Uma placa de circuito dedicada especialmente desenvolvida garante desempenho estável e confiável e uma aparência compacta. O medidor de vácuo piezoresistivo HPM10v tem alta precisão de medição e excelente estabilidade a longo prazo. O sensor piezoresistivo de silício de alta qualidade interno é compensado a temperatura e possui uma ampla faixa de temperatura de operação. O medidor de vácuo é pequeno em tamanho geral, fácil de usar e confiável e é adequado para medição de precisão a vácuo de baixa vácuo de composições de gás complexas.
O HPM10V é um medidor de vácuo piezoresistivo. Ele usa um sensor piezoresistivo de silício como elemento sensível e mede diretamente a pressão usando uma conexão de vácuo. Seus sinais de saída analógica, como 0-5 ou 0-10 VCC, são proporcionais à pressão medida e não são afetados pelo tipo e composição do gás do processo. O chip de silício difuso dentro do sensor é encapsulado por um diafragma e cavidade de aço inoxidável 316L. Uma placa de circuito dedicada especialmente desenvolvida garante desempenho estável e confiável e uma aparência compacta. O medidor de vácuo piezoresistivo HPM10v tem alta precisão de medição e excelente estabilidade a longo prazo. O sensor piezoresistivo de silício de alta qualidade interno é compensado a temperatura e possui uma ampla faixa de temperatura de operação. O medidor de vácuo é pequeno em tamanho geral, fácil de usar e confiável e é adequado para medição de precisão a vácuo de baixa vácuo de composições de gás complexas.
Aplicativo
Aplicação a vácuo
Laboratório e pesquisa e desenvolvimento
Indústria de semicondutores
Embalagem a vácuo
Equipamento de processo de gravação de plasma
Aplicativo
Aplicação a vácuo
Laboratório e pesquisa e desenvolvimento
Indústria de semicondutores
Embalagem a vácuo
Equipamento de processo de gravação de plasma
Características
Princípio piezoresistivo de silício
Alta precisão e boa estabilidade
A detecção não é afetada pelo tipo de gás e composição
Resposta rápida e baixa histerese
Medição de pressão direta, o sinal de saída analógico é proporcional à pressão medida
Suporta várias interfaces de pressão KF, CF, VCR, etc. Na indústria de vácuo
Características
Princípio piezoresistivo de silício
Alta precisão e boa estabilidade
A detecção não é afetada pelo tipo de gás e composição
Resposta rápida e baixa histerese
Medição de pressão direta, o sinal de saída analógico é proporcional à pressão medida
Suporta várias interfaces de pressão KF, CF, VCR, etc. Na indústria de vácuo
Parâmetros técnicos
Faixa de medição | |||||||||
Absoluto (KPA) | Pressão nominal | 0.2 | 0.5 | 1 | 2 | 5 | 10 | 20 | 100 |
Sobrecarga | 200 | 200 | 200 | 200 | 400 | 400 | 600 | 1000 | |
Absoluto (Torr) | Pressão nominal | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Sobrecarga | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Absoluto (MBAR) | Pressão nominal | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Sobrecarga | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Nota: Para outros intervalos de medição, entre em contato conosco. |
Meio de medição | ||||
Tipo | Vários gases compatíveis com materiais de contato | |||
Sinal de saída/fonte de alimentação | ||||
Padrão | 4 ~ 20mA / vs = 10 ~ 30 V DC | |||
Padrão | 0 ~ 5VDC /vs=8.5~30 V DC | |||
Padrão | 0 ~ 10VDC /vs = 12 ~ 30 V DC | |||
Padrão | Rs485 /vs = 10 ~ 30 V DC | |||
Desempenho | ||||
Precisão | ± 0,25%fs (típico) ± 0,1%fs (opcional) * Somente para o intervalo P≥35kpaa | |||
Estabilidade a longo prazo | ± 0,30%FS/ano, ≤35kpa ± 0,20%FS/ano,> 35kpa | |||
*A precisão está em conformidade com a IEC 60770 (não linearidade, histerese, repetibilidade) | ||||
Condições ambientais | ||||
Faixa de temperatura | Temperatura de trabalho: -40 ~ 100 ℃ Temperatura ambiente: -30 ~ 85 ℃ Temperatura de armazenamento: -30 ~ 85 ℃ | |||
Grau de proteção | IP65 | |||
Deriva de temperatura | ||||
Temperatura de compensação | 0 ~ 70 ℃, ≤35kpa; -10 ~ 80 ℃,> 35kpa | |||
Deriva de temperatura do ponto zero | ± 1,0%FS (dentro da temperatura de compensação) | |||
Deriva de temperatura da escala completa | ± 1,0%FS (dentro da temperatura de compensação) |
Parâmetros técnicos
Faixa de medição | |||||||||
Absoluto (KPA) | Pressão nominal | 0.2 | 0.5 | 1 | 2 | 5 | 10 | 20 | 100 |
Sobrecarga | 200 | 200 | 200 | 200 | 400 | 400 | 600 | 1000 | |
Absoluto (Torr) | Pressão nominal | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Sobrecarga | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Absoluto (MBAR) | Pressão nominal | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Sobrecarga | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Nota: Para outros intervalos de medição, entre em contato conosco. |
Meio de medição | ||||
Tipo | Vários gases compatíveis com materiais de contato | |||
Sinal de saída/fonte de alimentação | ||||
Padrão | 4 ~ 20mA / vs = 10 ~ 30 V DC | |||
Padrão | 0 ~ 5VDC /vs=8.5~30 V DC | |||
Padrão | 0 ~ 10VDC /vs = 12 ~ 30 V DC | |||
Padrão | Rs485 /vs = 10 ~ 30 V DC | |||
Desempenho | ||||
Precisão | ± 0,25%fs (típico) ± 0,1%fs (opcional) * Somente para o intervalo P≥35kpaa | |||
Estabilidade a longo prazo | ± 0,30%FS/ano, ≤35kpa ± 0,20%FS/ano,> 35kpa | |||
*A precisão está em conformidade com a IEC 60770 (não linearidade, histerese, repetibilidade) | ||||
Condições ambientais | ||||
Faixa de temperatura | Temperatura de trabalho: -40 ~ 100 ℃ Temperatura ambiente: -30 ~ 85 ℃ Temperatura de armazenamento: -30 ~ 85 ℃ | |||
Grau de proteção | IP65 | |||
Deriva de temperatura | ||||
Temperatura de compensação | 0 ~ 70 ℃, ≤35kpa; -10 ~ 80 ℃,> 35kpa | |||
Deriva de temperatura do ponto zero | ± 1,0%FS (dentro da temperatura de compensação) | |||
Deriva de temperatura da escala completa | ± 1,0%FS (dentro da temperatura de compensação) |
O HPM10V é um medidor de vácuo piezoresistivo. Ele usa um sensor piezoresistivo de silício como elemento sensível e mede diretamente a pressão usando uma conexão de vácuo. Seus sinais de saída analógica, como 0-5 ou 0-10 VCC, são proporcionais à pressão medida e não são afetados pelo tipo e composição do gás do processo. O chip de silício difuso dentro do sensor é encapsulado por um diafragma e cavidade de aço inoxidável 316L. Uma placa de circuito dedicada especialmente desenvolvida garante desempenho estável e confiável e uma aparência compacta. O medidor de vácuo piezoresistivo HPM10v tem alta precisão de medição e excelente estabilidade a longo prazo. O sensor piezoresistivo de silício de alta qualidade interno é compensado a temperatura e possui uma ampla faixa de temperatura de operação. O medidor de vácuo é pequeno em tamanho geral, fácil de usar e confiável e é adequado para medição de precisão a vácuo de baixa vácuo de composições de gás complexas.
Aplicativo
Aplicação a vácuo
Laboratório e pesquisa e desenvolvimento
Indústria de semicondutores
Embalagem a vácuo
Equipamento de processo de gravação de plasma
Características
Princípio piezoresistivo de silício
Alta precisão e boa estabilidade
A detecção não é afetada pelo tipo de gás e composição
Resposta rápida e baixa histerese
Medição de pressão direta, o sinal de saída analógico é proporcional à pressão medida
Suporta várias interfaces de pressão KF, CF, VCR, etc. Na indústria de vácuo
Parâmetros técnicos
Faixa de medição | |||||||||
Absoluto (KPA) | Pressão nominal | 0.2 | 0.5 | 1 | 2 | 5 | 10 | 20 | 100 |
Sobrecarga | 200 | 200 | 200 | 200 | 400 | 400 | 600 | 1000 | |
Absoluto (Torr) | Pressão nominal | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Sobrecarga | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Absoluto (MBAR) | Pressão nominal | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Sobrecarga | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Nota: Para outros intervalos de medição, entre em contato conosco. |
Meio de medição | ||||
Tipo | Vários gases compatíveis com materiais de contato | |||
Sinal de saída/fonte de alimentação | ||||
Padrão | 4 ~ 20mA / vs = 10 ~ 30 V DC | |||
Padrão | 0 ~ 5VDC /vs=8.5~30 V DC | |||
Padrão | 0 ~ 10VDC /vs = 12 ~ 30 V DC | |||
Padrão | Rs485 /vs = 10 ~ 30 V DC | |||
Desempenho | ||||
Precisão | ± 0,25%fs (típico) ± 0,1%fs (opcional) * Somente para o intervalo P≥35kpaa | |||
Estabilidade a longo prazo | ± 0,30%FS/ano, ≤35kpa ± 0,20%FS/ano,> 35kpa | |||
*A precisão está em conformidade com a IEC 60770 (não linearidade, histerese, repetibilidade) | ||||
Condições ambientais | ||||
Faixa de temperatura | Temperatura de trabalho: -40 ~ 100 ℃ Temperatura ambiente: -30 ~ 85 ℃ Temperatura de armazenamento: -30 ~ 85 ℃ | |||
Grau de proteção | IP65 | |||
Deriva de temperatura | ||||
Temperatura de compensação | 0 ~ 70 ℃, ≤35kpa; -10 ~ 80 ℃,> 35kpa | |||
Deriva de temperatura do ponto zero | ± 1,0%FS (dentro da temperatura de compensação) | |||
Deriva de temperatura da escala completa | ± 1,0%FS (dentro da temperatura de compensação) |