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HPM10V Custo-efetivo 0-200KPA Transmissor de pressão absoluta KF16 Conexão

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O HPM10V é um medidor de vácuo piezoresistivo. Ele usa um sensor piezoresistivo de silício como elemento sensível e mede diretamente a pressão usando uma conexão de vácuo. Seus sinais de saída analógica, como 0-5 ou 0-10 VCC, são proporcionais à pressão medida e não são afetados pelo tipo e composição do gás do processo. O chip de silício difuso dentro do sensor é encapsulado por um diafragma e cavidade de aço inoxidável 316L. Uma placa de circuito dedicada especialmente desenvolvida garante desempenho estável e confiável e uma aparência compacta. O medidor de vácuo piezoresistivo HPM10v tem alta precisão de medição e excelente estabilidade a longo prazo. O sensor piezoresistivo de silício de alta qualidade interno é  compensado a temperatura e possui uma ampla faixa de temperatura de operação. O medidor de vácuo é pequeno em tamanho geral, fácil de usar e confiável e é adequado para medição de precisão a vácuo de baixa vácuo de composições de gás complexas.




Aplicativo


  • Aplicação a vácuo

  • Laboratório e pesquisa e desenvolvimento

  • Indústria de semicondutores

  • Embalagem a vácuo

  • Equipamento de processo de gravação de plasma


Características


  • Princípio piezoresistivo de silício

  • Alta precisão e boa estabilidade

  • A detecção não é afetada pelo tipo de gás e composição

  • Resposta rápida e baixa histerese

  • Medição de pressão direta, o sinal de saída analógico é proporcional à pressão medida

  • Suporta várias interfaces de pressão KF, CF, VCR, etc. Na indústria de vácuo


Parâmetros técnicos


Faixa de medição

Absoluto (KPA)

Pressão nominal

0.2

0.5

1

2

5

10

20

100

Sobrecarga

200

200

200

200

400

400

600

1000

Absoluto (Torr)

Pressão nominal

2

5

10

20

50

100

200

1000

Sobrecarga

2000

2000

2000

2000

4000

4000

6000

10000

Absoluto (MBAR)

Pressão nominal

2

5

10

20

50

100

200

1000

Sobrecarga

2000

2000

2000

2000

4000

4000

6000

10000

Nota: Para outros intervalos de medição, entre em contato conosco.

Meio de medição

Tipo

Vários gases compatíveis com materiais de contato

Sinal de saída/fonte de alimentação

Padrão

4 ~ 20mA      / vs = 10 ~ 30 V DC

Padrão

0 ~ 5VDC      /vs=8.5~30 V DC

Padrão

0 ~ 10VDC    /vs = 12 ~ 30 V DC

Padrão

Rs485       /vs = 10 ~ 30 V DC

Desempenho

Precisão

± 0,25%fs (típico)

± 0,1%fs (opcional) * Somente para o intervalo P≥35kpaa

Estabilidade a longo prazo

± 0,30%FS/ano, ≤35kpa

± 0,20%FS/ano,> 35kpa

*A precisão está em conformidade com a IEC 60770 (não linearidade, histerese, repetibilidade)

Condições ambientais

Faixa de temperatura

Temperatura de trabalho: -40 ~ 100 ℃

Temperatura ambiente: -30 ~ 85 ℃

Temperatura de armazenamento: -30 ~ 85 ℃

Grau de proteção

IP65

Deriva de temperatura


Temperatura de compensação

0 ~ 70 ℃, ≤35kpa;  -10 ~ 80 ℃,> 35kpa

Deriva de temperatura do ponto zero

± 1,0%FS (dentro da temperatura de compensação)

Deriva de temperatura da escala completa

± 1,0%FS (dentro da temperatura de compensação)



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