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Medidor de vácuo capacitivo HPM18V 4-20mA Diaphgragm

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HPM18V é um medidor de vácuo capacitivo, também chamado de medidor de filme capacitivo (CDG).Este produto utiliza um sensor capacitivo cerâmico como elemento sensível e utiliza uma conexão a vácuo para medir diretamente a pressão.Seus sinais de saída analógica, como 0-5 ou 0-10VDC, são proporcionais à pressão medida e não são afetados pelo tipo e composição do gás do processo.A cerâmica tem características de alta elasticidade, resistência ao desgaste, resistência à corrosão e rápida dissipação de calor, o que faz com que o medidor de vácuo tenha estabilidade térmica muito boa e desvio de temperatura extremamente baixo.



Aplicativo

  • Aplicação de vácuo

  • Laboratório e pesquisa e desenvolvimento

  • Indústria de semicondutores

  • Embalagem a vácuo

  • Equipamento de processo de gravação a plasma


Características


  • Princípio do filme capacitor
  • Alta precisão e boa estabilidade
  • Possui excelente capacidade anti-sobrecarga
  • A detecção não é afetada pelo tipo e composição do gás
  • Resposta rápida e pequena histerese
  • Medição direta de pressão, o sinal de saída analógico é proporcional à pressão medida
  • Suporta várias interfaces de pressão KF, CF, VCR, etc. na indústria de vácuo


Parâmetros técnicos

Meio de medição

Vários gases compatíveis com materiais de contato

Variação de pressão

0~2Torr…1000Torr

Precisão

±0,1%FS,±0,25%FS,±0,5%FS (sujeito à faixa de medição)

Temperatura de trabalho

-40~85°C

Tensão de alimentação

10~30VCC

8,5~30 VCC

12~30VCC

10~30VCC

(sujeito a saída)

Sinal de saída

4 ~ 20mADC, tensão, RS485


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